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SUBA 800拋光墊

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細(xì)

SUBA 800/600 等系列拋光墊。(***原廠產(chǎn)品) 主要尺寸:32吋(820mm),36吋(930mm),48吋(1200mm)等系列。 可根據(jù)客戶要求開槽加工。 SUBA 系列拋光墊片用于半導(dǎo)體晶片的粗拋和中拋,具有高平坦度、高拋光速率和更低晶片缺陷等優(yōu)點(diǎn)??捎糜趯?duì)硅片、藍(lán)寶石襯底片、砷化鎵、光學(xué)玻璃、陶瓷等材料的拋光。 主要參數(shù): 型號(hào) SUBA 600 SUBA 800 厚度(mm) 1.27 1.27 密度(g/cm2) -- -- 硬度(Asker) 80 82 硬度(JIS,A) -- -- 壓縮比(%) 3.5 3 伸縮性(%) 75 73  

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