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12寸全自動(dòng)堿腐蝕機(jī)

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細(xì)

1)適用于多種規(guī)格硅片的腐蝕清洗,同一臺(tái)設(shè)備可編程多套運(yùn)行軟件 2)根據(jù)工藝需求,槽體可匹配超聲、抖動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、循環(huán)過濾等功能 3)全自動(dòng)控制,可選擇自動(dòng)配補(bǔ)液,保證了操作的安全穩(wěn)定性 4)高速移載機(jī)械手,伺服驅(qū)動(dòng)控制,保證運(yùn)行平穩(wěn),定位可靠 5)機(jī)械手直接夾取PFA卡塞,更好的滿足客戶需求 6)采用國際知名電氣元件  

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