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QSY,DSY透明石英玻璃儀器

2003-03-21 來源:

8977

標準名稱   :QSY,DSY透明石英玻璃儀器
標準類型   :中華人民共和國國家標準
標準號  ?。篔C 181-81
標準發(fā)布單位:國家標準局 發(fā)布
標準正文 ?。赫?BR>
本標準主要用于半導體工業(yè)采用的透明石英玻璃儀器。其他冶金、化工、科學研究等所用透明石英玻璃儀器之技術要求均可參考本標準執(zhí)行。
透明石英玻璃儀器有QSY透明石英玻璃儀器和DSY透明石英玻璃儀器兩種。

一、技術要求

1.透明石英玻璃儀器的化學成分,熱穩(wěn)定性,抗結晶性和高溫變色性,均不低于同類材的要求。

2.透明石英玻璃儀器在加工過程中,應盡量清理應力,必須保證在常溫下逐步升溫至1100℃,在爐內(nèi)自然冷卻后無炸裂。

3.兩種透明石英玻璃儀器均按加工部位的外觀指標分為二級(見下表)。


項 目 一 級 二級

色 加工過程中混入(毫米) 0.1- 0.3 0.3- 1.0

斑 允許數(shù)量(個/100厘米[2]) ≤2 ≤2

外 管接口應做到軸向平行徑向垂直加工 1/2管材壁厚 管材壁厚

表面凸凹不大于所用管材壁厚

型 長度未注明非重要部位的自由公差(毫米) ±3 ±3 

錐度(比例) 1∶5、1∶10、1∶15 1∶5、1∶10、1∶15

磨口與未加工亮面呈直徑圓周,彎曲度(毫米) ±1 ±2

磨 磨口內(nèi)亮面(毫米[2]) 不允許 8

口 允許數(shù)量(個/100厘米[2]) 不允許 ≤1

配 塞口的高低公差(毫米) ±3 ±3

合 二通活塞對孔誤差 ≤1/4 ≤1/3

多通活塞對孔誤差 ≤1/2 ≤3/5

水 面積(毫米[2]) ≤10 11- 50

跡 允許數(shù)量(個/100厘米[2]) ≤2 ≤2

云 在加工復雜器件的過程中不易避免的部位 不允許 不允許

霧 (半透明云霧)

焊 焊接之彎曲處熔合圓滑 必須完全熔合 必須熔合

折料和料疙瘩處厚度 在壁厚公差范圍內(nèi) 在壁厚公差范圍內(nèi)

接 炸裂紋 不允許 不允許

析晶和指紋印 不允許 不允許


注:
①密封性檢驗方法:將水盛入磨口儀器中,在不涂油脂的情況下,將塞塞緊,倒翻10次,每次在10秒內(nèi),用濾紙擦試無滲出水液為封口性能合格。
②QSY透明石英玻璃儀器的非主體部分,在不影響性能的情況下,可用外徑D19

毫米以下的DTS1透明石英玻璃管(棒)。


4.透明石英玻璃儀器,非加工部位(允許加工后達到要求)的技術要求如下。

(1)QSY透明石英玻璃儀器:

儀器的一級品外觀指標不低于相應管材的二級品;

儀器的二級品外觀指標不低于租應管材的三級品。

(2)DSY透明石英?,攦x器:

儀器的一級品外觀指標不低于相應管材的二級品;

儀器的二級品外觀指標不低于相應管材的四級品。
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