QSG1、QSG2透明石英玻璃坩堝
11014
QSG1、 QSG2透 明 石 英 玻 璃 坩 堝 JC 179-81
本 標 準 適 用 于 半 導 體 工 業(yè) 拉 制 單 晶 用 的 透 明 石 英 玻 璃 坩 堝 。 半 導 體 用 透 明 石 英 玻 璃 坩 堝 有 QSG1高 純 透 明 石 英 玻 璃 坩 堝 與 QSG2透 明 石 英 玻 璃 坩 堝 兩 種 。
一 、 技 術 要 求
1、 物 理 、 化 學 性 能 指 標
1）化 學 成 分
a、 QSG1高 純 透 明 石 英 玻 璃 坩 堝
鋁 、 鈣 、 鎂 、 鈦 、 銅 、 鐵 、 鈷 、 鎳 、 錳 、 硼 、 鉀 、 鈉 、 鋰 十 三 個 雜 質 元 素 的 總 含 量 不 得 大 于 0.001%。
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