4.真空度

　　真空度必須達到一定標準方可鍍膜，否則，會因氣體中殘留雜質(zhì)氣體，導(dǎo)致膜層成分不純，結(jié)合力不強。一般應(yīng)控制在10-3Pa。

　　5.擴散泵返油

　　擴散泵冷卻水水溫偏高，易導(dǎo)致油蒸汽進入鍍膜室附著在原片上，這是導(dǎo)致脫膜的生要因素之一。定期觀察擴散泵冷卻水水溫，做好記錄，尤其在炎熱的夏季和使用較高濺射功率的時候，更應(yīng)如此。

　　6.工藝氣體、靶材

　　若使用純度不高的工藝氣體或靶材，會使膜層中雜質(zhì)成分偏高，產(chǎn)生大面積小孔，進而導(dǎo)致脫膜，所以采用高純度氣體和靶材是清理脫膜的重要前提。

　　三、儲存環(huán)節(jié)